ウェハーチップのプロービングを行う装置です。（フラットプローブ対応）

コレットクリーナー『Woodpekker』は、ダイボンダーの小型角錐コレット清掃装置です。

小型軽量なため、コレットを装置から外さずに清掃できますので、取付時の調整が不要になります。
清掃の確認をする顕微鏡も、オプションで、ご用意しております。