トレイ清掃装置 『HURRICANE』 半導体製品を収納するトレイを、エアブローで清掃する装置です。 トレイは、複数枚を重ねて供給でき、一枚ずつ自動的に取り出して清掃します。 清掃済みのトレイは、供給したときと同じように、重ねて格納します。